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产品介绍
SENTECH SE 500adv 可作为激光椭偏仪、膜厚探头和 CER 椭圆偏振仪使用。因此，它具有标准激光椭偏仪所不具备的灵活性。作为椭偏仪使用时，可进行单角度和多角度测量。作为薄膜厚度探头使用时，可在正常入射条件下测量透明或弱吸收薄膜的厚度。SE 500adv 中的椭偏仪和反射仪（CER）组合包括椭偏仪光学镜组、测角仪、组合式反射测量头和自动准直望远镜、样品平台、氦氖激光源、激光光检测单元和光度计。
性能特点
- 准确无误的厚度测定：将椭偏仪和反射仪结合使用，可通过自动识别循环厚度周期，快速、准确地测定透明薄膜的厚度。
- 大的测量范围：激光椭偏仪和反射仪的组合将透明薄膜的厚度范围扩大到 25 µm 或更多，具体取决于所选的光度计选项。
- 突破激光椭偏仪的限制：多角度手动测角仪具有高的性能和角度精度，可测量单层薄膜和层堆的折射率、消光系数和薄膜厚度。
技术参数
产地：德国
波长：632.8 nm HeNe 激光器（< 1mW）
薄膜厚度精度：硅上 100 纳米二氧化硅的 0.01 纳米
折射率精度偏差：5x10-4（100 nm SiO2 on Si）
透明层的总厚度范围：max.6 µm
弱吸收层（多晶硅）的总厚度范围：max.2 µm
默认层数：层叠或基底上的 1-3 层
测量时间：120 毫秒 ..... 1.5 秒（取决于测量模式）
激光束直径：1 毫米
入射角：手动测角仪
40° - 90°，以 5° 为单位设置
样品校准：自动准直望远镜 (ACT)，用于调整样品倾斜度和高度
产品应用
测绘范围达 200 毫米
用于现场测量的液体电池
摄像机
自动对焦
电动测角仪
SpectraRay 4.0 仿真软件
经过认证的标准晶片
苏州长显