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产品介绍
SMEM 系列扫描双轴（tip倾斜）和单轴倾斜 MEMS 镜具有二维和一维光束转向功能。SMEMS 扫描速度更快、功耗低、精度高、重复性好。MEMS 由单晶硅制成，镜面平整光滑，表面镀有高折射率金薄膜。SMEM 采用密封包装，并配有光学窗口，可连续工作 25 年。为方便评估，还提供驱动电路板。
性能特点
- 单轴和双轴
- 高达 7 度
- 高精度
- 结构紧凑
- 可靠性高
- 低功耗
- 高重复性
选型指南
技术参数
产地：美国
镜面直径：0.6...2 mm
工作波长：450...2600 nm
反射率（1260-1660 nm）：95...96%
倾斜角度
0.6mm@60V：± 2.2...± 2.7 度
1.5mm@67V：±6.8...±7.6 度
2.0mm@200V：±5.9...±6.2 度
损坏电压
0.6mm：70 V
1.5mm：702 V
2mm X 轴：220 V
2mm Y 轴：100 V
响应时间：max.10 ms
光功率处理：500 mW
耐久性：1010 周期
器件电阻：2 MOhm
功耗：0.5 mW
工作温度：-40...75 °C
存储温度：-40...85 °C
可靠性：Telcordia 1209 和 1221
封装泄漏率：<10-9 Pa.m3/s
产品应用
光学设备
传感器
仪器仪表
苏州长显