FQCW266系列激光器在单模操作模式下,能够在266纳米波长下提供高达1瓦特的功率输出。这一特性使得该激光器在需要高能量密度的应用中表现优良。激光器可以以标称输出功率的10%至110%运行,即实际输出功率在1毫瓦至11毫瓦之间,且步长可达0.1毫瓦。这种精细的功率调节能力,为用户提供了很大的灵活性。相干长度超过1000米,这意味着该激光器在光学干涉、全息术等应用中具有良好的表现。激光器的线宽小于300千赫兹,这对于需要高光谱纯度的应用来说至关重要。尽管输出功率高达1瓦特,但FQCW266系列激光器的功耗却低于200瓦特,平均功耗仅为100瓦特。这种低功耗设计使得该激光器在长时间运行中更加节能。
产地:德国
波长:266 ± 1 nm
输出功率(可调性):500 mW ± 5 % (50-500 mW)
线宽:< 300 kHz
光束传播因子M²:< 1.3,TEM00
光束质量 M²x(水平):< 1.2,TEM00
光束质量 M²y(垂直):< 1.35,TEM00
偏振方向和纯度:> 500:1,垂直
光束直径:1.0 ± 0.2 mm
光束发散度:< 0.45 mrad
光束指向稳定性:< 3 μrad/K,< 3 μrad/h
静态对准公差:横向± 0.25 mm,角度 ± 2.5 mrad
光束指向稳定性:± 200 μrad
功率稳定性(8 小时内 0.5 Hz):< 0.2 % rms
强度噪声(1 Hz – 100 kHz) :< 1 % rms
强度噪声 (100 kHz – 250 MHz) :< 0.2 % rms
平均功耗(max):< 200 W (450 W)
线路电压:90 – 250 V AC (50-60 Hz)
通信接口:USB / RS232 / 以太网
安全功能:钥匙开关、联锁、电动快门
预热时间:< 45 分钟
晶点寿命(小时):清除 1.500 / 未清除 1.000
总寿命(小时):清除 20.000 / 未清除 16.000
工作温度(激光头):20 – 25 °C(无冷凝)
激光头尺寸:143 x 325 x 739 mm³(高 x 宽 x 长)
控制单元尺寸:184 x 483 x 411 mm³(高 x 宽 x 长)
激光头重量:36 千克
控制器单元重量:12 千克
晶圆检测