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产品介绍
TF-168薄膜测量系统是一款改进型系统，可从顶部更轻松地进行光束对准。它可对各种多层光学薄膜和涂层进行非接触式光学测量，测量其厚度、折射率和吸收系数。
主机包含一个钨卤素光源（360-2500 nm）和一个基于PC的USB迷你光谱仪（350-1000 nm），两者均配备SMA 905连接器。通过将薄膜测量光纤与内部光源和光谱仪断开，可以将单独的光纤连接到光源和光谱仪，以便进行其他照明或光谱测量应用。
性能特点
- 基底折射率和吸收率评估
- 薄膜厚度测量、平均值和标准偏差
- 薄膜材料折射率和吸收率评估
- 保存测量的光谱相关反射率数据
- 加载先前保存的反射率数据
- 测量结果统计
- 用户友好的光标控制式测量结果显示
- 灵活选择计算波长范围
- 灵活选择预估厚度范围以更大限度地减少计算时间
- 从内置数据库中便捷地选择薄膜和基底材料
- 用户自定义材料选择和导入
技术参数
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产地 |
美国 |
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测量范围 |
20 nm 至 50 µm（仅厚度），100 nm 至 10 µm（厚度，含 n 和 k 值） |
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可测量层数 |
Max. 4 层 |
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光斑尺寸 |
可调，0.8 mm 至 4 mm |
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样品尺寸 |
1 mm 及以上 |
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厚度精度 |
±1 nm 或 ±0.5%，取较大值 |
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精度 |
0.2 nm |
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重复性 |
0.1 nm |
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平台尺寸 |
7 英寸 x 7 英寸或 178 mm x 178 mm |
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系统尺寸 |
8 英寸宽，9.5 英寸深，14 英寸高 |
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PC 要求 |
800 MHz 以上主频，1 GB 内存，Windows 10 或 11 操作系统 |
产品应用
光学元件上的介电涂层、涂层光学滤波器、晶圆上的半导体制造、液晶器件、多层聚合物薄膜。
薄膜层示例：SiO₂、CaF₂、MgF₂、光刻胶、多晶硅、非晶硅、SiNₓ、TiO₂、溶胶-凝胶法、聚酰亚胺、聚合物薄膜。
衬底材料示例：硅、锗、GaAs、ZnS、ZnSe、丙烯酸酯、蓝宝石、玻璃、聚碳酸酯、聚合物、石英。
苏州长显