Xeryon压电旋转平台XRT-U-30-49-HV-C1-L150

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产品介绍

XRT-U 是一款紧凑型高精度旋转平台,由超声波压电电机驱动。Xeryon 的超声波压电电机确保了高速、长寿命和静音运行。这使得 XRT-U 成为适用于各种定位和计量应用的先进旋转平台。滚珠轴承可实现低的运动误差。XRT-U 提供四种尺寸和多种可选配置。它可轻松堆叠到 Xeryon 线性平台上,可以直接堆叠在顶板上,也可以使用可选的接口板进行堆叠。

性能特点
  • 长期使用精度不变
  • 免维护
  • 提供非磁性及真空兼容版本
  • 无噪音直驱设计
  • 手动干预不影响使用寿命
  • 低电压安全运行(<48V)
  • 支持慢速恒定扫描速度
  • 与其他品牌载物台实现完全互换
选型指南

技术参数

产地

比利时

转子直径

约 30 毫米

编码器反馈分辨率

49 微弧度

真空兼容性 (HV)

可选

D-sub 连接器 (C1)

电缆长度

150 厘米

温度范围

-30°C 至 +70°C

湿度范围

20% 至 90% RH(无冷凝)

散热量(仅电机)

< 1 W (XRT-U-30/40)

 

< 1 W (XRT-U-25 单电机)

 

< 2 W (XRT-U-25 双电机)

 

< 5 W (XRT-U-60)

安装面平整度

< 20 µm

内部工作电压

48-60 V

尺寸

40 x 35 x 21mm ± 0.1

孔径

7mm +0/+0.05

旋转范围

> 360º

重量(不含连接器)

80g

转子

AISI316不锈钢

外壳

铝坯

轴承

不锈钢;全陶瓷(-NM)

紧固件

A4级不锈钢

 

产品尺寸

产品应用

半导体制造与测试

光子学,例如激光技术和光纤

显微镜技术,例如扫描电子显微镜 (SEM)、X射线显微镜和荧光显微镜

计量学,例如光学计量学和激光计量学

实验物理学,例如光束线、光谱学和量子力学

……以及更多

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