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多光子聚合 (MPP) 是一种能够在亚微米分辨率下制造任意形状聚合物结构的技术。首先，将聚合物材料与光引发剂混合，滴涂在玻璃载玻片上，然后进行预烘烤，制备光刻胶样品。之后，采用直接激光写入技术制造三维微结构。由于光聚合作用，聚合物在激光照射下发生固化。之后，将微结构浸入有机溶剂中显影未聚合的光刻胶。
MPP 因其能够制造复杂而准确的结构，已成为微电子器件制造领域的热门选择。其高度聚焦的光源也使得创建复杂的三维形状变得轻而易举。
- 纳米级分辨率增材制造技术
- 微米级真三维结构
- 多种聚合物可供选择
- 无缝拼接制造
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产地 |
立陶宛 |
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材料 |
SZ2080、SU-8、有机陶瓷、玻璃聚合物、有机-无机杂化光敏聚合物、弹性体、蛋白质 |
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XY特征尺寸 |
min.150 nm |
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表面粗糙度Ra |
min.≤ 20 nm |
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加工速度 |
max.30 mm/s |
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飞秒激光光源 |
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波长 |
780 nm；1030 ± 10 nm，515 ± 10 nm |
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重复频率 |
100 MHz；11 MHz … 76 MHz；单次脉冲 – 1 MHz |
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脉冲持续时间 |
< 100 fs；50 fs，120 fs，170 fs；290 fs – 20 ps（可调） |
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平均功率max. |
250 mW；2 W；5 W |
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长期功率稳定性 |
24 小时 < 0.5% RMS；100 小时 < 0.5% RMS |
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带同步振镜的线性平台 |
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XYZ 定位平台安装在带桥架的花岗岩底座上 |
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行程 (XYZ) |
160 mm × 160 mm × 60 mm |
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精度 (XYZ) |
± 300 nm |
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分辨率 (XYZ) |
1 nm |
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速度 (XY) |
max.200 mm/s |
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振镜 |
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精度 |
50 μrad |
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重复性 |
0.4 μrad RMS |
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其他参数 |
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实时监控 |
制造过程由集成机器视觉系统监控 |
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拼接 |
采用无限视场 (IFoV) 实现无缝拼接 |
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聚焦光学元件 |
物镜 – 0.4 至 1.4 NA |
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自动对焦系统 |
自动玻璃/聚合物或玻璃/空气界面光学检测 |
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自对准系统 (SAS) |
自动激光光束路径对准系统 |
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基片 |
通用真空样品架，配备计算机控制的位置同步照明，适用于透明样品 |
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光束传输与控制 |
电动衰减器、偏振旋转器、扩束器。集成功率计可实现实时功率监测 |
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软件 |
方便控制所有必要的工艺参数和机器设置。该软件可处理常用 CAD 程序创建的标准 3D 设计格式，例如 STL |
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激光安全 |
符合人体工程学的外壳，确保激光安全等级为 1 级，并为激光微加工工艺提供稳定的环境条件 |
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物理尺寸 |
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所有门关闭时的尺寸 （宽 × 长 × 高） |
1790 × 920 × 2270 mm |
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所有门打开时的尺寸 （宽 × 长 × 高） |
2680 × 1900 × 2300 mm |
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重量 |
约 700 公斤 |
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环境及公用设施要求 |
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工作温度 |
20 ± 2 °C |
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相对湿度 |
≤ 60% |
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电气要求 |
110 VAC，20 A – 230 VAC，10 A |
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交流功率（正常运行） |
典型值 2 kW |
微光学
微机械
支架
传感器
互连
苏州长显