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Opto Alignment几何表征测量仪QuickPRO-CUBE Mini

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产品介绍

QuickPRO-CUBE 集成了一对单点、非接触式、纳米级分辨率的色差共焦传感器,并采用高速纳米级编码的 X/Y/Z 轴协调运动,可同时采集单个透镜或微透镜托盘中透镜的正面、背面和基准面三维点云形貌,用于几何表征。其形状不变的运动架构允许测量旋转对称形状以及更复杂的非轴对称或自由曲面形状,测量直径可达 50 毫米(外径可达 75 毫米)。每个透镜每个表面的总测量时间为 30 秒至 240 秒,具体取决于透镜直径和三维点云采样密度。

性能特点
  • 紧凑型台式装置,带环境防护罩
  • 双单点非接触式可见光色差共焦传感器,组合测量速率达 8kHz
  • 抗振动且尺寸稳定的殷钢计量框架
  • 采用纳米级编码的 X/Y/Z 轴协同运动,配备磁力线性电机和交叉滚子轴承,可实现 50mm (X)、50mm (Y)、50mm (Z) 的快速光栅或螺旋扫描
  • 自定心夹具,配备快速连接器,可快速装卸
  • 夹具适用于单个光学元件(外径75mm)和微透镜托盘
  • 用户友好的 QuickPRO仪器控制和数据采集软件,用于传感器优化、自动定心、数据采集和协同运动序列控制
  • CalcuSurf-3D查看和分析软件,用于多表面 3D 点云数据
技术参数

产地

美国

系统

 

尺寸(长 x 宽 x 高)

560mm x 560mm x 370mm

重量

60公斤

系统控制器

运动和传感器控制;高速数据链路

电源要求

110-220V AC,50-60Hz,2 A(220V),5 A (110V)

运动

 

测量区域 (XYZ)

50mm x 50mm x30mm

位置精度

<1μm

驱动类型

带磁平衡的线性伺服电机 (Z)

平台速度

100mm/s

扫描类型/路径

螺旋扫描、光栅扫描、用户自定义

样品尺寸

max.0.75mm

负载能力

2kg

传感器

 

技术

色差共聚焦 x2

应用

距离、中心、楔形、矢高、厚度

采样

可达 10,000 点/秒/传感器

探测范围

0.4mm、0.5mm (HS)、1mm

横向分辨率

2μm、5μm、4μm

工作距离

15mm、11mm、37mm

轴向分辨率

3nm、20nm、150nm

斜率max.

±45°、>±45°、±45°

测量指标

 

VI-V2 偏心精度

0.010 mm,包含边缘跳动

楔形精度

0.005°[18 角秒],需要基准面

轴向测量精度

0.001 mm

厚度精度 (TTV)

0.002 mm,取决于折射率

 

 

产品应用

CUBE 专为工厂车间对抛光、模压或金刚石车削光学元件(包括光学不透明的红外材料和金属)进行质量保证而设计。其另一优势在于能够在单次测量过程中测量托盘中的多个小型透镜或透镜阵列。

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