QuickPRO-CUBE 集成了一对单点、非接触式、纳米级分辨率的色差共焦传感器,并采用高速纳米级编码的 X/Y/Z 轴协调运动,可同时采集单个透镜或微透镜托盘中透镜的正面、背面和基准面三维点云形貌,用于几何表征。其形状不变的运动架构允许测量旋转对称形状以及更复杂的非轴对称或自由曲面形状,测量直径可达 50 毫米(外径可达 75 毫米)。每个透镜每个表面的总测量时间为 30 秒至 240 秒,具体取决于透镜直径和三维点云采样密度。
|
产地 |
美国 |
|
系统 |
|
|
尺寸(长 x 宽 x 高) |
560mm x 560mm x 370mm |
|
重量 |
60公斤 |
|
系统控制器 |
运动和传感器控制;高速数据链路 |
|
电源要求 |
110-220V AC,50-60Hz,2 A(220V),5 A (110V) |
|
运动 |
|
|
测量区域 (XYZ) |
50mm x 50mm x30mm |
|
位置精度 |
<1μm |
|
驱动类型 |
带磁平衡的线性伺服电机 (Z) |
|
平台速度 |
100mm/s |
|
扫描类型/路径 |
螺旋扫描、光栅扫描、用户自定义 |
|
样品尺寸 |
max.0.75mm |
|
负载能力 |
2kg |
|
传感器 |
|
|
技术 |
色差共聚焦 x2 |
|
应用 |
距离、中心、楔形、矢高、厚度 |
|
采样 |
可达 10,000 点/秒/传感器 |
|
探测范围 |
0.4mm、0.5mm (HS)、1mm |
|
横向分辨率 |
2μm、5μm、4μm |
|
工作距离 |
15mm、11mm、37mm |
|
轴向分辨率 |
3nm、20nm、150nm |
|
斜率max. |
±45°、>±45°、±45° |
|
测量指标 |
|
|
VI-V2 偏心精度 |
0.010 mm,包含边缘跳动 |
|
楔形精度 |
0.005°[18 角秒],需要基准面 |
|
轴向测量精度 |
0.001 mm |
|
厚度精度 (TTV) |
0.002 mm,取决于折射率 |
CUBE 专为工厂车间对抛光、模压或金刚石车削光学元件(包括光学不透明的红外材料和金属)进行质量保证而设计。其另一优势在于能够在单次测量过程中测量托盘中的多个小型透镜或透镜阵列。