产品中心
产品分类
产品分类
品牌标签
品牌标签
ATTOCUBE纳米定位器ECSx3080/StSt/HV
503 阅读
- 品牌名称：ATTOCUBE
- 规格型号：ECSx3080/StSt/HV
- 产品资料：Attocube纳米定位器ECSx3080，StSt，HV.pdf
产品介绍
ECSx3080在50毫米行程范围内提供高分辨率定位。其采用交叉滚子轴承实现高导引精度。
该定位器专为高真空环境设计，可承受低至1×10-8毫巴的真空压力。不锈钢材质坚固耐用且经济有效率，适用于纳米定位器主体制造，可满足包括高真空在内的严苛真空条件要求。
性能特点
- ECSx3080 可实现亚纳米级的定位分辨率，满足纳米级精度的应用需求。
- 采用十字交叉滚柱导轨结构，提供高刚性和高承载能力，同时实现高导引精度。该设计确保定位器在长行程范围内保持稳定运动，减少摩擦和磨损，延长使用寿命。
- 不锈钢材质主体结构，坚固耐用，满足严苛真空条件要求。
- 可与其他 Attocube 定位器或扫描仪（如 ANSxy100）组合，构建多轴扫描单元，满足复杂多维定位需求。
- 满足不同精度要求的应用场景。闭环控制下，重复精度达 50 纳米，确保定位的一致性和可靠性。
技术参数
|
产地 |
德国 |
|
尺寸与规格 |
|
|
占地面积；高度 |
30 mm × 80 mm；9.5 mm |
|
安装空间 |
max.30 mm × 131.6 mm；9.5 mm |
|
重量（不锈钢版本） |
147 g |
|
高度 |
9.5 mm |
|
电缆 |
50 cm 带连接器的电缆 |
|
材料 |
|
|
定位器主体 |
不锈钢 |
|
致动器 |
PZT陶瓷 |
|
连接线 |
铜芯 |
|
护套 |
|
|
RT环境 |
PTFE |
|
HV/UHV环境 |
玻璃纤维 |
|
粗定位模式 |
|
|
行程范围（步进模式） |
50毫米 |
|
驱动速度 @ 300 K |
max.4.5毫米/秒 |
|
输入电压范围 |
0 - 45伏 |
|
精细定位模式 |
|
|
精细线性定位范围 @ 300 K |
1.6 µm |
|
精细定位分辨率 |
亚纳米级 |
|
直流输入电压范围 |
0 - 45 V |
|
负载（常温条件下） |
|
|
负载 |
max.2 kg |
|
轴向动态力 |
max.1 N |
|
通用规格 |
|
|
工作环境 |
高真空 |
产品尺寸
苏州长显