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Eitzenberger多轴系统EZ-0117-450（0030823）
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- 品牌名称：Eitzenberger
- 规格型号：EZ-0117-450（0030823）
- 产品资料：Eitzenberger多轴系统EZ-0117.pdf
产品介绍
在XY平台EZ-0117的设计中，特别注重成本控制与高精度要求的结合。空气轴承的踏板覆盖有波纹管，可防止颗粒侵入，使EZ-0117特别适用于含颗粒的应用场景。尽管配备了波纹管，仍实现了高定位精度。铁芯同步电机可实现高达10 m/s2的加速度及1 m/s的行程速度。工作台采用花岗岩材质。十字台侧面设有接口板，用于传输能量、信号及介质。两轴可分别独立供电及供气。终点位置由感应式传感器检测。XY平台提供两种规格，行程范围分别为250×450毫米或250×800毫米。根据需求可定制其他尺寸或扩展双轴系统。
性能特点
- 行程范围 250 mm × 450/800 mm
- 速度1 m/s
- 高精度
- 负载500 N
- 全封闭式机身内部
- 适用于产生切屑的加工工艺
技术参数
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产地 |
德国 |
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产品编号 |
0030823 |
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行程 |
250 x 450 mm |
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定位精度（未补偿） |
± 2 µm |
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重复定位精度（双向） |
± 75 nm |
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位置稳定性 |
50 nm |
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垂直/水平直线度 |
2 µm |
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俯仰角 |
20 µrad |
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偏航角 |
10 µrad |
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无负载速度 |
max.1 m/s |
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无负载加速度 |
max.10 m/s2 |
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安装位置 |
水平 |
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尺寸（长x宽x高） |
1,198 x 1,201 x 297 mm |
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Z轴负载 |
500 N |
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Y轴运动质量 |
18 kg |
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X+Y轴运动质量 |
80 kg |
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总重量 |
675 kg |
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传感器 |
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类型 |
增量式 |
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传感器信号 |
1 Vpp，20 µm信号周期 |
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驱动 |
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类型 |
三相同步铁芯电机 |
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电压 |
相间交流电压max.400 V |
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持续推力（X/Y 轴） |
640 / 320 N |
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峰值电流（X/Y 轴） |
16 / 8 A |
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反电动势（相间 X/Y 轴） |
76 V/m/s |
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力常数 |
不适用 93 N |
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接口与环境 |
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供气压力 |
5 bar |
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空气消耗量 |
20 Sl/min |
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平均故障间隔时间 MTBF |
> 20,000h |
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限位开关 |
PNP |
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洁净室适用性 |
适用 |
产品应用
定位、扫描、曝光、激光雕刻、激光加工工艺。
苏州长显