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NanoPos六足机器人正在欧洲同步辐射设施（ESRF）的ID11新型纳米显微站定位样品。ID11是专用于中至高能衍射及成像研究的束线，可对各类具有物理、机械或化学特性研究价值的系统进行分析。在斯德哥尔摩大学的实验中，一台兼容高真空的NanoPos正在10⁻⁹毫巴真空腔室内定位样品。
NanoPos是一款高度仅68毫米的微型六足机器人，可在6自由度范围内以10纳米分辨率实现精细组件的定位与调节。
NanoPos六足机器人凭借其卓绝特性在微型领域脱颖而出，这得益于其集成了知名美国制造商的超紧凑压电平台、高品质关节及低摩擦机械部件。
其闭环控制系统配备线性光学编码器，可实现高精度性能。
提供高压（HV）和高真空（UHV）版本。
max载荷能力 500 克
线性分辨率 10 纳米
角分辨率 1 微弧度
中间位置高度 68 毫米
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产地 |
加拿大 |
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运动与定位 |
行程范围 Tx, Ty (mm)：± 5 |
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行程范围 Tz (mm)：± 4 |
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行程范围 Rx, Ry (度)： ± 7 |
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行程范围 Rz (度)：± 10 |
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分辨率 Tx, Ty, Tz (纳米)：10 |
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分辨率 Rx, Ry, Rz (微弧度)：1 |
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重复性 Tx, Ty, Tz (纳米)：± 75 |
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重复性 Rx, Ry, Rz (微弧度)：± 2 |
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速度 (mm/s; deg/s)：1; 1 |
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负载能力 (g) (垂直方向) |
500 |
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电机类型 |
压电电机 |
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工作温度范围（°C） |
+5至+40 |
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材料 |
铝、因瓦合金、陶瓷、不锈钢 |
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移动平台尺寸（mm） |
Ø72 |
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中心孔径（mm） |
Ø32 |
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中位高度（mm） |
68 |
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质量（g） |
505 |
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电缆长度（米） |
1.2 |
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可选配置 |
定制平台设计 |
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更大行程范围 |
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可扩展尺寸 |
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真空兼容性 |
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非磁性 |
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控制器 |
控制器类型：CAPELLA |
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接口：以太网、USB、串行（RS-232） |
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电源：110-240 VAC / 50-60 Hz |
仪器仪表
光学
测试实验室
显微镜技术
纳米技术
半导体
加速器
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